キクチ　ヒロキ   Kikuchi Hiroki
  菊地　宏樹
   所属   二松学舎大学  国際政治経済学部 国際経営学科
   二松学舎大学大学院  国際政治経済学研究科 国際政治経済学専攻
   職種   講師
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2017/07
形態種別 研究論文　
標題 Rayleigh criterion: The paradigm of photolithography equipment.
執筆形態 共著
掲載誌名 Annals of Business Administrative Science
巻・号・頁 16(5),203-213頁
著者・共著者 共著者：高橋伸夫
概要 担当部分：共同研究につき本人担当部分抽出不可能。
半導体露光装置の開発において、Rayleigh Criterionがパラダイムとして機能し、これに則り微細化が進められてきたことを明らかにした。